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卫光科技六吋线二期高端功率器件项目首台重点工艺设备移入




近日,西安卫光科技有限公司(卫光科技)六吋线二期高端功率器件项目首台重点工艺设备超薄晶圆减薄机DFG8540移入微晶微电子公司生产线。该设备是为满足高端FS型IGBT器件超薄晶圆减薄工艺所需,主要用于6英寸硅片的圆片减薄工艺,可将硅片减薄至85um,同时可保证硅片的平整度。设备的引入将在推进微晶微新产品工艺研发、新品研制等方面发挥引领作用。


截至目前,六吋线二期项目中已有2台辅助设备奥林巴斯显微镜移入生产线,本次重点工艺设备减薄机DFG8540的顺利移入,具有里程碑意义,同时标志着六吋线二期项目的全面有序开展。微晶微电子公司全体员工,众志成城、攻坚克难,继续撸起袖子加油干,为确保填平补齐项目、二期项目的顺利完成;为公司产品高质量发展进一步拓展平台奠定基础,赢得主动。


西安卫光科技有限公司(国营第八七七厂),成立于2007年元月,由原西安卫光电工厂整体改制而来,隶属于陕西电子信息集团。公司位于西安高新产业开发区电子工业园,占地面积14.7万平方米,现有员工1000余人。是我国低频大功率半导体器件重点骨干企业和军用元器件研制、生产定点企业,也是我国最早生产半导体器件的专业企业之一。


来源:卫光科技


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